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產(chǎn)品詳細(xì)介紹
輸入電壓 AC220V(±10V)/AC380
電源功率 1KW-5K
W
電壓頻率 40kHz/13.56MKz
腔體容量 125L—200L(可選)
使用氣體 二路工藝氣體配置(可用氣體:氬氣、氧氣、氮?dú)?、空氣?
控制系統(tǒng) PLC觸摸屏
過程控制 自動(dòng)與手動(dòng)方式
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